半导体学报刊号

《世界电信》不是《现代电信科技》是的经济学非中心期刊： 1、《世界电信》 2、《经济界》 TN 无线电电子学、电信技术类中心期刊表 1 电子学报 2 中国激光 3 通讯学报 4 光学学报 5 半导体学报 6 电子迷信学刊 7 电信迷信 8 微电子学 9 强激光与粒子束 10 固体电子学研讨与停顿 11 半导体技术 12 激光杂志 13 无线电通讯技术 14 电讯技术 15 激光技术 16 半导体光电 17 通讯技术与开展 18 电声技术 19 电子科技大学学报 20 激光与红外 21 现代雷达 22 红外技术 23 光通讯技术 24 微波与卫星通讯 25 无线电工程 26 微波学报 27 西安电子科技大学学报 28 运用激光 29 红外与激光技术 30 航天电子对立 31 现代电信科技 32 电子元件与资料 33 压电与声光 34 电子技术运用 35 光通讯研讨 36 北京邮电大学学报目前区分中心期刊的主要依据之一是《中文中心期刊要目总览》。中心期刊的认定对国际出版的期刊中中心期刊的认定，目前国际比拟威望的有以下几种版本第一种是中国科技音讯研讨所（简称中信所）每年出一次的《中国科技期刊引证演讲》（限理工科期刊，以下简称《引证演讲》）。中信所每年第四季度面向全国大专院校和科研院所公布上一年的科研论文排名。排名包括SCI、Ei、ISTP辨别收录的论文量和中国期刊宣布论文量等项目的。《引证演讲》以1300多种中、外文科技类期刊作为统计源，演讲的形式是对这些期刊停止多项目的的统计与剖析，其中最主要的是按类停止“影响因子”排名。第二种是北京大学图书馆与北京高校图书馆期刊任务研讨会别离编辑出版的《中文中心期刊要目总览》（以下简称《要目总览》）。《要目总览》不活期出版，1996年出版了第一版，2000年出了第二版。《要目总览》收编包括社会迷信和自然迷信等各种学科类别的中文期刊。其中对中心期刊的认定经过五项目的剖析评价。《引证演讲》统计源期刊的选取准绳和《要目总览》中心期刊的认定各依据了不同的方法体系，所以二者界定的中心期刊（指科技类）不完整一致。目前大部分学校在科研效果认定中对对《引证演讲》和《要目总览》所公布的中心期刊都予以供认。在《引证演讲》和《要目总览》中每次都被评为中心期刊的期刊在其刊名前面加注了“#”，共597种。被《要目总览》1996年版，2000年版都定为中心期刊的社科类期刊，加注“=”，共434种。此外，被1999年EI和SCI收录的期刊，辨别注以“+”(71种)或“&”(28种)。第三种是中国迷信引文数据库(，限于理工科期刊)。它是由中国迷信院文献情报中心树立的, 分为中心库和扩展库。中心库的根源期刊经过严厉的评选,是各学科范畴中具有威望性和代表性的中心期刊。我校在科研效果认定中把中国迷信引文数据库中心库中的刊物均认定为中心期刊。第四种是《中国人文社会迷信中心期刊要览》。它是由中国社会迷信院文献音讯中心和社科文献计量评价中心独自树立的中心期刊库，在科研效果认定中均认定为中心期刊。 y≡ⅷc恣l揣w→Шifq〃u匹iv

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39海洋学报 40海洋与湖沼 41化学学报 42红外与毫米波学报

43化工学报(中英) 44化学物理学报 45会计研究 46计量学报

47经济研究 48机械工程学报 49计算力学学报(计算结构力学及其应用) 50计算机辅助设计与图形学学报

51计算机科学与技术学报(英文版) 52教育研究(中央教育研究所) 53计算机研究与发展 54计算机学报 55计算数学 56建筑结构学报

57金属学报 58近代史研究 59金融研究 60建筑学报

61经济理论与经济管理 62科学学研究 63科学通报 64科研管理

半导体学报网

《电子学报》为中国电子学会主办的高级学术刊物, 刊登电子与信息科学及相邻领域的原始性（original）科研成果。为中国自然科学核心期刊之一；科技部科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库来源期刊。《Chinese Journal of Electronics》（以下简称《CJE》）系中国电子学会主办的英文学术期刊。《CJE》创刊于1992年（季刊），由《CJE》编辑部向中国大陆发行、香港科讯交流公司向海外发行。《CJE》已被国际著名的检索系统CA、EI、SCI-Expanded、SA等收录。《半导体学报》是中国电子学会和中国科学院半导体研究所主办的学术刊物。《半导体学报》被世界四大检索系统（美国工程索引(EI)，化学文摘(CA)，英国科学文摘(SA)，俄罗斯文摘杂志(РЖ)）收录。《电子测量与仪器学报》被国家科委中国科学技术信息研究所《中国科技论文统计与分析》列为中国科技核心期刊；被中科院文献情报中心《中国科学引文数据库》列为技术类核心期刊；被《中国核心期刊（遴选）数据库》收录；被众多国内知名理工科大学、研究生院的学位评定委员会推荐为重点学术期刊；同时也是国家教委指定的286种核心期刊之一。《微波学报》创刊于1980年，由中国电子学会主办，南京电子技术研究所（信息产业部电子第14研究所）承办，是目前国内唯一微波学术性专业刊物。《电波科学学报》是中国科协主管、中国电子学会主办、中国电波传播研究所承办的国内外公开发行的刊物。也是我国电波科学领域唯一的专业性学术刊物。《信号处理》期刊是由中国科学技术协会主管，中国电子学会主办，信号处理专业委员会承办的学术性刊物，于1985年创刊。《数据采集与处理》是中国科协主管，由中国电子学会、微弱信号检测学会和南京航空航天大学联合主办，并向国内外公开发行的技术刊物。《电子元件与材料》创办于1982年3月，是中国电子学会、中国电子元件行业协会、宏明电子股份有限公司主办，电子科技大学微电子学和固体电子学院，中国电子学会元件分会和信产部电子陶瓷专业情报网协办的学术技术性科技刊物。《软件》杂志由中国科协主管，中国电子学会、天津电子学会主办期刊，《软件》杂志被《中国学术期刊综合评价数据库来源期刊》、《中国核心期刊（遴选）数据库收录期刊》、《万方数据—数字化期刊群全文收录期刊》、《中文科技期刊数据库（全文版）收录期刊》、美国《剑桥科学文摘》、波兰《哥白尼索引》收录期刊、美国《乌利希国际期刊指南》等国内外数据库收录。

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本刊与物理类期刊和电子类期刊不同，是以半导体和相关材料为中心的，从物理，材料，器件到应用的，从研究到技术开发的，跨越物理和信息两个学科的综合性学术刊物。《半导体学报》发表中、英文稿件。《半导体学报》被世界四大检索系统（美国工程索引(EI)，化学文摘(CA)，英国科学文摘(SA)，俄罗斯文摘杂志(РЖ)）收录。属于4区

《物理学报》是由中国物理学会主办的，创刊于1933年，原名“ChineseJournal of Physics”，创刊初期用英、

半导体学报2021

电子显微镜的现状与展望摘要: 本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望。透射电子显微镜方面主要有：高分辨电子显微学及原子像的观察，像差校正电子显微镜，原子尺度电子全息学，表面的高分辨电子显微正面成像，超高压电子显微镜，中等电压电镜，120kV,100kV分析电镜，场发射枪扫描透射电镜及能量选择电镜等，透射电镜将又一次面临新的重大突破；扫描电子显微镜方面主要有：分析扫描电镜和X射线能谱仪、X射线波谱仪和电子探针仪、场发射枪扫描电镜和低压扫描电镜、超大试样室扫描电镜、环境扫描电镜、扫描电声显微镜、测长／缺陷检测扫描电镜、晶体学取向成像扫描电子显微术和计算机控制扫描电镜等。扫描电镜的分辨本领可望达到—并观察到原子像。关键词：透射电子显微镜扫描电子显微镜仪器制造与发展电子显微镜(简称电镜，EM)经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。我国的电子显微学也有了长足的进展。电子显微镜的创制者鲁斯卡()教授因而获得了1986年诺贝尔奖的物理奖。电子与物质相互作用会产生透射电子，弹性散射电子，能量损失电子，二次电子，背反射电子，吸收电子，X射线，俄歇电子，阴极发光和电动力等等。电子显微镜就是利用这些信息来对试样进行形貌观察、成分分析和结构测定的。电子显微镜有很多类型，主要有透射电子显微镜(简称透射电镜，TEM)和扫描电子显微镜(简称扫描电镜，SEM)两大类。扫描透射电子显微镜(简称扫描透射电镜，STEM)则兼有两者的性能。为了进一步表征仪器的特点，有以加速电压区分的，如：超高压(1MV)和中等电压(200—500kV)透射电镜、低电压(～1kV)扫描电镜；有以电子枪类型区分的，如场发射枪电镜；有以用途区分的，如高分辨电镜，分析电镜、能量选择电镜、生物电镜、环境电镜、原位电镜、测长CD-扫描电镜；有以激发的信息命名的，如电子探针X射线微区分析仪(简称电子探针，EPMA)等。半个多世纪以来电子显微学的奋斗目标主要是力求观察更微小的物体结构、更细小的实体、甚至单个原子，并获得有关试样的更多的信息，如标征非晶和微晶，成分分布，晶粒形状和尺寸，晶体的相、晶体的取向、晶界和晶体缺陷等特征，以便对材料的显微结构进行综合分析及标征研究〔3〕。近来，电子显微镜(电子显微学)，包括扫描隧道显微镜等，又有了长足的发展。本文仅讨论使用广泛的透射电镜和扫描电镜，并就上列几个方面作一简要介绍。部分透射电镜和扫描电镜的主要性能可参阅文献。透射电子显微镜1、高分辨电子显微学及原子像的观察材料的宏观性能往往与其本身的成分、结构以及晶体缺陷中原子的位置等密切相关。观察试样中单个原子像是科学界长期追求的目标。一个原子的直径约为1千万分之2—3mm。因此，要分辨出每个原子的位置需要左右的分辨本领，并把它放大约1千万倍。70年代初形成的高分辨电子显微学(HREM)是在原子尺度上直接观察分析物质微观结构的学科。计算机图像处理的引入使其进一步向超高分辨率和定量化方向发展，同时也开辟了一些崭新的应用领域。例如，英国医学研究委员会分子生物实验室的博士等发展了一套重构物体三维结构的高分辨图像处理技术，为分子生物学开拓了一个崭新的领域。因而获得了1982年诺贝尔奖的化学奖，以表彰他在发展晶体电子显微学及核酸—蛋白质复合体的晶体学结构方面的卓越贡献。用HREM使单个原子成像的一个严重困难是信号／噪声比太小。电子经过试样后，对成像有贡献的弹性散射电子(不损失能量、只改变运动方向)所占的百分比太低，而非弹性散射电子(既损失能量又改变运动方向)不相干，对成像无贡献且形成亮的背底(亮场)，因而非周期结构试样中的单个原子像的反差极小。在档去了未散射的直透电子的暗场像中，由于提高了反差，才能观察到其中的重原子，例如铀和钍—BTCA中的铀(Z＝92)和钍(Z＝90)原子。对于晶体试样，原子阵列会加强成像信息。采用超高压电子显微镜和中等加速电压的高亮度、高相干度的场发射电子枪透射电镜在特定的离焦条件(Scherzer欠焦)下拍摄的薄晶体高分辨像可以获得直接与晶体原子结构相对应的结构像。再用图像处理技术，例如电子晶体学处理方法，已能从一张200kV的JEM-2010F场发射电镜(点分辨本领)拍摄的分辨率约的照片上获取超高分辨率结构信息，成功地测定出分辨率约的晶体结构。2.像差校正电子显微镜电子显微镜的分辨本领由于受到电子透镜球差的限制，人们力图像光学透镜那样来减少或消除球差。但是，早在1936年Scherzer就指出，对于常用的无空间电荷且不随时间变化的旋转对称电子透镜，球差恒为正值。在40年代由于兼顾电子物镜的衍射和球差，电子显微镜的理论分辨本领约为。校正电子透镜的主要像差是人们长期追求的目标。经过50多年的努力，1990年Rose提出用六极校正器校正透镜像差得到无像差电子光学系统的方法。最近在CM200ST场发射枪200kV透射电镜上增加了这种六极校正器，研制成世界上第一台像差校正电子显微镜。电镜的高度仅提高了24cm，而并不影响其它性能。分辨本领由提高到。在这台像差校正电子显微镜上球差系数减少至(50μm)时拍摄到了GaAs〈110〉取向的哑铃状结构像，点间距为。3、原子尺度电子全息学Gabor在1948年当时难以校正电子透镜球差的情况下提出了电子全息的基本原理和方法。论证了如果用电子束制作全息图，记录电子波的振幅和位相，然后用光波进行重现，只要光线光学的像差精确地与电子光学的像差相匹配，就能得到无像差的、分辨率更高的像。由于那时没有相干性很好的电子源，电子全息术的发展相当缓慢。后来，这种光波全息思想应用到激光领域，获得了极大的成功。Gabor也因此而获得了诺贝尔物理奖。随着Mollenstedt静电双棱镜的发明以及点状灯丝，特别是场发射电子枪的发展，电子全息的理论和实验研究也有了很大的进展，在电磁场测量和高分辨电子显微像的重构等方面取得了丰硕的成果〔9〕。Lichte等用电子全息术在CM30FEG/ST型电子显微镜(球差系数Cs＝)上以1k×1k的慢扫描CCD相机，获得了的分辨本领。目前，使用刚刚安装好的CM30FEG/UT型电子显微镜(球差系数Cs＝)和2k×2k的CCD相机，已达到的信息极限分辨本领。4、表面的高分辨电子显微正面成像如何区分表面和体点阵周期从而得到试样的表面信息是电子显微学界一个长期关心的问题。目前表面的高分辨电子显微正面成像及其图像处理已得到了长足的进展，成功地揭示了Si〔111〕表面(7×7)重构的细节，不仅看到了扫描隧道显微镜STM能够看到的处于表面第一层的吸附原子(adatoms)，而且看到了顶部三层的所有原子，包括STM目前还难以看到的处于第三层的二聚物(dimers)，说明正面成像法与目前认为最强有力的，在原子水平上直接观察表面结构的STM相比，也有其独到之处。李日升等以Cu〔110〕晶膜表面上观察到了由Cu-O原子链的吸附产生的(2×1)重构为例，采用表面的高分辨电子显微正面成像法，表明对于所有的强周期体系，均存在衬度随厚度呈周期性变化的现象，对一般厚膜也可进行高分辨表面正面像的观测。5、超高压电子显微镜近年来，超高压透射电镜的分辨本领有了进一步的提高。JEOL公司制成1250kV的JEM-ARM1250／1000型超高压原子分辨率电镜，点分辨本领已达，可以在原子水平上直接观察厚试样的三维结构。日立公司于1995年制成一台新的3MV超高压透射电镜，分辨本领为。超高压电镜分辨本领高、对试样的穿透能力强(1MV时约为100kV的3倍)，但价格昂贵，需要专门建造高大的实验室，很难推广。6、中等电压电子显微镜中等电压200kV\,300kV电镜的穿透能力分别为100kV的和倍，成本较低、效益／投入比高，因而得到了很大的发展。场发射透射电镜已日益成熟。TEM上常配有锂漂移硅Si(Li)X射线能谱仪(EDS)，有的还配有电子能量选择成像谱仪，可以分析试样的化学成分和结构。原来的高分辨和分析型两类电镜也有合并的趋势：用计算机控制甚至完全通过计算机软件操作，采用球差系数更小的物镜和场发射电子枪，既可以获得高分辨像又可进行纳米尺度的微区化学成分和结构分析，发展成多功能高分辨分析电镜。JEOL的200kVJEM-2010F和300kV JEM-3000F，日立公司的200kV HF-2000以及荷兰飞利浦公司的200kV CM200 FEG和300kV CM300 FEG型都属于这种产品。目前，国际上常规200kVTEM的点分辨本领为左右，放大倍数约为50倍—150万倍。7、120kV\,100kV分析电子显微镜生物、医学以及农业、药物和食品工业等领域往往要求把电镜和光学显微镜得到的信息联系起来。因此，一种在获得高分辨像的同时还可以得到大视场高反差的低倍显微像、操作方便、结构紧凑，装有EDS的计算机控制分析电镜也就应运而生。例如，飞利浦公司的CM120Biotwin电镜配有冷冻试样台和EDS，可以观察分析反差低以及对电子束敏感的生物试样。日本的JEM-1200电镜在中、低放大倍数时都具有良好的反差，适用于材料科学和生命科学研究。目前，这种多用途120kV透射电镜的点分辨本领达左右。8、场发射枪扫描透射电子显微镜场发射扫描透射电镜STEM是由美国芝加哥大学的教授在70年代初期发展起来的。试样后方的两个探测器分别逐点接收未散射的透射电子和全部散射电子。弹性和非弹性散射电子信息都随原子序数而变。环状探测器接收散射角大的弹性散射电子。重原子的弹性散射电子多，如果入射电子束直径小于，且试样足够薄，便可得到单个原子像。实际上STEM也已看到了γ-alumina支持膜上的单个Pt和Rh原子。透射电子通过环状探测器中心的小孔，由中心探测器接收，再用能量分析器测出其损失的特征能量，便可进行成分分析。为此，Crewe发展了亮度比一般电子枪高约5个量级的场发射电子枪FEG：曲率半径仅为100nm左右的钨单晶针尖在电场强度高达100MV/cm的作用下，在室温时即可产生场发射电子，把电子束聚焦到—而仍有足够大的亮度。英国VG公司在80年代开始生产这种STEM。最近在VGHB5 FEGSTEM上增加了一个电磁四极—八极球差校正器，球差系数由原来的减少到以下。进一步排除各种不稳定因素后，可望把100kV STEM的暗场像的分辨本领提高到。利用加速电压为300kV的VG-HB603U型获得了Cu〈112〉的电子显微像：的基本间距和的晶格像。期望物镜球差系数减少到的400kV仪器能达到更高的分辨本领。这种UHV-STEM仪器相当复杂，难以推广。9、能量选择电子显微镜能量选择电镜EF-TEM是一个新的发展方向。在一般透射电镜中，弹性散射电子形成显微像或衍射花样；非弹性散射电子则往往被忽略，而近来已用作电子能量损失谱分析。德国Zeiss-Opton公司在80年代末生产的EM902A型生物电镜，在成像系统中配有电子能量谱仪，选取损失了一定特征能量的电子来成像。其主要优点是：可观察μm的厚试样，对未经染色的生物试样也能看到高反差的显微像，还能获得元素分布像等。目前Leica与Zeiss合并后的LEO公司的EM912 Omega电镜装有Ω-电子能量过滤器，可以滤去形成背底的非弹性散射电子和不需要的其它电子，得到具有一定能量的电子信息，进行能量过滤会聚束衍射和成像，清晰地显示出原来被掩盖的微弱显微和衍射电子花样。该公司在此基础上又发展了200kV的全自动能量选择TEM。JEOL公司也发展了带Ω-电子能量过滤器的JEM2010FEF型电子显微镜，点分辨本领为，能量分辨率在100kV和200kV时分别为μm/eV和μm/eV。日立公司也报道了用EF-1000型γ形电子能量谱成像系统，在TEM中观察到了半导体动态随机存取存储器DRAM中厚μm切片的清晰剖面显微像。美国GATAN公司的电子能量选择成像系统装在投影镜后方，可对电子能量损失谱EELS选择成像。可在几秒钟内实现在线的数据读出、处理、输出、及时了解图像的质量，据此自动调节有关参数，完成自动合轴、自动校正像散和自动聚焦等工作。例如，在400kV的JEM-4000EX电镜上用PEELS得到能量选择原子像，并同时完成EELS化学分析。透射电镜经过了半个多世纪的发展已接近或达到了由透镜球差和衍射差所决定的—的理论分辨本领。人们正在探索进一步消除透镜的各种像差〔20〕，在电子枪后方再增加一个电子单色器，研究新的像差校正法，进一步提高电磁透镜和整个仪器的稳定性；采用并进一步发展高亮度电子源场发射电子枪，X射线谱仪和电子能量选择成像谱仪，慢扫描电荷耦合器件CCD，冷冻低温和环境试样室，纳米量级的会聚束微衍射，原位实时分析，锥状扫描晶体学成像(Conical Scan Crystallography)，全数字控制，图像处理与现代信息传送技术实现远距离操作观察，以及克服试样本身带来的各种限制，透射电镜正面临着一个新的重大突破。扫描电子显微镜1、分析扫描电镜和X射线能谱仪目前，使用最广的常规钨丝阴极扫描电镜的分辨本领已达左右，加速电压范围为—30kV。扫描电镜配备X射线能谱仪EDS后发展成分析扫描电镜，不仅比X射线波谱仪WDS分析速度快、灵敏度高、也可进行定性和无标样定量分析。EDS发展十分迅速，已成为仪器的一个重要组成部分，甚至与其融为一体。但是，EDS也存在不足之处，如能量分辨率低，一般为129—155eV,以及Si(Li)晶体需在低温下使用(液氮冷却)等。X射线波谱仪分辨率则高得多，通常为5—10eV，且可在室温下工作。1972年起EDAX公司发展了一种ECON系列无窗口探测器，可满足分析超轻元素时的一些特殊需求，但Si(Li)晶体易受污染。1987年Kevex公司开发了能承受一个大气压力差的ATW超薄窗，避免了上述缺点，可以探测到B，C，N，O等超轻元素，为大量应用创造了条件。目前，美国Kevex公司的Quantifier,Noran公司的Extreme,Link公司的Ultracool,EDAX公司的Sapphire等Si(Li)探测器都属于这种单窗口超轻元素探测器，分辨率为129eV，133eV等，探测范围扩展到了5B—92U。为克服传统Si(Li)探测器需使用液氮冷却带来的不便，1989年Kevex公司推出了可不用液氮的Superdry探测器，Noran公司也生产了用温差电制冷的Freedom探测器(配有小型冷却循环水机)，和压缩机制冷的Cryocooled探测器。这两种探测器必须昼夜24小时通电，适合于无液氮供应的单位。现在使用的大多还是改进的液氮冷却Si(Li)探测器，只需在实际工作时加入液氮冷却，平时不必维持液氮的供给。最近发展起来的高纯锗Ge探测器，不仅提高了分辨率，而且扩大了探测的能量范围(从25keV扩展到100keV)，特别适用于透射电镜：如Link的GEM型的分辨率已优于115eV(MnKα)和65eV(FKα)，Noran的ExplorerGe探测器，探测范围可达100keV等。1995年中国科学院上海原子核研究所研制成了Si(Li)探测器，能量分辨率为152eV。中国科学院北京科学仪器研制中心也生产了X射线能谱分析系统Finder-1000，硬件借鉴Noran公司的功能电路，配以该公司的探测器，采用Windows操作系统，开发了自己的图形化能谱分析系统程序。2、X射线波谱仪和电子探针仪现代SEM大多配置了EDS探测器以进行成分分析。当需低含量、精确定量以及超轻元素分析时，则可再增加1到4道X射线波谱仪WDS。Microspec公司的全聚焦WDX-400，WDX-600型分别配有4块和6块不同的衍射晶体，能检测到5B(4Be)以上的各种元素。该谱仪可以倾斜方式装在扫描电镜试样室上，以便对水平放置的试样进行分析，而不必如垂直谱仪那样需用光学显微镜来精确调整试样离物镜的工作距离。为满足大量多元素试样的超轻元素，低含量，高速定性、定量常规分析的需求，法国Cameca公司长期生产电子探针仪，SX50和SXmacro型配备4道WDS及1道EDS，物镜内装有同轴光学显微镜可以随时观察分析区域。岛津公司最近生产的计算机控制EPMA-1600型电子探针，可配置2—5道WDS和1道EDS，试样最大尺寸为100mm×100mm×50mm(厚)，二次电子图像分辨率为6nm。JEOL公司也生产了计算机控制的JXA-8800电子探针和JXA-8900系列WD／ED综合显微分析系统—超电子探针，可装5道X射线光谱仪和1道X射线能谱仪，元素分析范围为5B—92U，二次电子图像分辨率为6nm。Noran公司下属的Peak公司最近发展了一种崭新的APeX全参数X射线光谱仪，与传统的机械联动机构完全不同，由计算机控制6个独立的伺服马达分别调节分光晶体的位置和倾角以及X射线探测器的X、Y坐标和狭缝宽度。配有4块标准的分光晶体可分析5B(4Be)以上的元素。罗兰圆半径随分析元素而变，可分别为170，180，190和200mm，以获得最高的计数率，提高了分析精度和灵活性。Noran公司还推出了称为MAXray的X射线平行束光谱仪，将最新的X光学研究成果——准平行束整体X光透镜置于试样上的X射线发射点和分析晶体之间，提高了接收X射线的立体角，比一般WDS的强度提高了50倍左右。可分析100eV—能量范围内的K、L、M线，特别有利于低电压、低束流分析，对Be、B、C、N、O和F的分辨率可高达5—15eV，兼有WDS的高分辨率和EDS的高收集效率。这两种新型X射线光谱仪可望得到广泛的应用。3、场发射枪扫描电镜和低压扫描电镜场发射扫描电镜得到了很大的发展〔24〕。日立公司推出了冷场发射枪扫描电镜，Amray公司则生产热场发射枪扫描电镜，不仅提高了常规加速电压时的分辨本领，还显著改善了低压性能。低压扫描电镜LVSEM由于可以提高成像的反差，减少甚至消除试样的充放电现象并减少辐照损伤，因此受到了人们的嘱目。JEOL公司的JSM-6000F型场发射超高分辨SEM的分辨本领在加速电压30kV时达，已接近TEM的水平，但试样必须浸没入物镜的强磁场中以减少球差的影响，所以尺寸受到限制，最大为23mm×6mm×3mm(厚)。试样半浸没在物镜磁场中的场发射JSM-6340F型可以观察大试样，加速电压15kV时分辨本领为，低压1kV时为。这两种SEM由于试样要处在磁场中所以不能观察磁性材料。使用CF校正场小型物镜可观察大试样的场发射JSM-6600F型分辨本领为(1kV时为8nm)。日立公司也供应这几类产品如S-5000，S-4500和S-4700型。4、超大试样室扫描电镜德国Visitec捷高公司的超大试样室Mira型扫描电镜。被检物的最大尺寸可为直径700mm，高600mm，长1400mm，最大重量可达300公斤，真空室长1400，宽1100和高1200mm。分辨本领4nm，加速电压—20kV。是一种新的计算机控制、非破坏性的检查分析测试装置，可用于工业产品的生产，质量管理，微机加工和工艺品的检查研究等。5、环境扫描电镜80年代出现的环境扫描电镜ESEM，根据需要试样可处于压力为1—2600Pa不同气氛的高气压低真空环境中，开辟了新的应用领域。与试样室内为10-3Pa的常规高真空SEM不同，所以也可称为低真空扫描电镜LV-SEM。在这种低真空环境中，绝缘试样即使在高加速电压下也不会因出现充、放电现象而无法观察；潮湿的试样则可保持其原来的含水自然状态而不产生形变。因此，ESEM可直接观察塑料、陶瓷、纸张、岩石、泥土，以及疏松而会排放气体的材料和含水的生物试样，无需先喷涂导电层或冷冻干燥处理。1990年美国ElectroScan公司首先推出了商品ESEM。为了保证试样室内的高气压低真空环境，LV-SEM的真空系统须予以特殊考虑。目前，Amray,Hitachi,JEOL和LEO等公司都有这种产品。试样室为6—270Pa时，JSM—5600LV—SEM的分辨本领已达，自动切换到高真空状态后便如常规扫描电镜一样，分辨本领达。中国科学院北京科学仪器研制中心与化工冶金研究所合作，发展KYKY-1500高温环境扫描电子显微镜，试样最高温度可达1200℃，最高气压为2600Pa；800℃时分辨率为60nm，观察了室温下的湿玉米淀粉颗粒断面、食盐的结晶粒子，以及在50Pa，900℃时铁矿中的针形Fe\-2O\-3等试样。6、扫描电声显微镜80年代初问世的扫描电声显微镜SEAM，采用了一种新的成像方式：其强度受频闪调制的电子束在试样表面扫描，用压电传感器接收试样热、弹性微观性质变化的电声信号，经视频放大后成像。能对试样的亚表面实现非破坏性的剖面成像。可应用于半导体、金属和陶瓷材料，电子器件及生物学等领域。中国科学院北京科学仪器研制中心也发展了这种扫描电声显微镜，空间分辨本领为—μm。最近，中国科学院上海硅酸盐研究所采用数字扫描发生器控制电子束扫描等技术，提高了信噪比，使SEAM的图像质量得到了很大的改进。7、测长／缺陷检测扫描电镜SEM不但在科学研究而且在工农业生产中得到了广泛的应用，特别是电子计算机产业的兴起使其得到了很大的发展。目前半导体超大规模集成电路每条线的制造宽度正由μm向μm迈进。作为半导体集成电路生产线上Si片的常规检测工具，美国Amray公司推出了一种缺陷检测3800型DRT扫描电镜，采用了加热到1800K的ZrO/W阴极肖脱基热场发射电子枪，具有良好的低加速电压性能：1kV时分辨本领达4nm，而且电子束流的稳定度优于1%/h、可长期连续工作，对直径为100，125，150，200mm的Si片，每小时可检测100个缺陷。日立公司为了克服以往在室温下工作的冷场发射枪测长扫描电镜(CD-SEM)因需要进行闪烁处理以去除发射尖上所吸附的气体分子而经常中断工作、影响在生产线上应用的缺点，最近也推出了这种ZrO/W阴极热场发射电子枪的S-8000系列CD-SEM。为了克服热场发射比冷场发射枪电子能量分散大的缺点，设计了阻滞场电磁物镜，并改进了二次电子探测器，在加速电压为800V时分辨本领为5nm，可以每小时20片，每片5个检测点的速度连续检测125—200mm直径的Si〔1,28〕。8、晶体学取向成像扫描电子显微术SEM的另一个新发展方向是以背散射电子衍射图样(EBSP)为基础的晶体学取向成像电子显微术(OIM)。在SEM上增加一个可将试样倾动约70度的装置，CCD探测器和数据处理计算机系统，扫描并接收记录块状试样表面的背散射电子衍射花样(背散射菊池花样)，按试样各部分不同的晶体取向分类成像来获得有关晶体结构的信息，可显示晶粒组织、晶界和裂纹等，也可用于测定织构和晶体取向。可望发展成SEM的一个标准附件。1996年美国TSL(TexSemLaboratories,Inc.)公司推出了TSLOIM系统，空间分辨本领已优于μm，比原理相似的电子通道图样(ECP)提高了一个量级，在秒钟内即能完成一张衍射图样的自动定标工作。英国牛津集团显微分析仪器Link-OPAL公司的EBSD结晶学分析系统，目前已用于Si片上Al连线的取向分析，以判断其质量的优劣及可行性。9、计算机控制扫描电镜90年代初，飞利浦公司推出了XL系列扫描电镜。在保持重要功能的同时，减少了操作的复杂性。仪器完全由计算机软件控制操作。许多参量(焦距、像散校正和试样台移动速度等)和调节灵敏度都会根据显微镜的工作状态作自适应变化和耦合，可迅速而准确地改变电镜的主要参数。EDS完全与XL系统实现了一体化。该公司1995年生产了XL40FEG等场发射扫描电镜。日立，JEOL等也先后推出了计算机控制的扫描电镜。场发射扫描电镜的分辨本领最高已达到，接近了透射电镜的水平，并得到了广泛的应用，但尚不能分辨原子。如何进一步提高扫描电镜的图像质量和分辨本领是人们十分关注的问题。Joy DC指出：由于分辨本领受到试样表面二次电子SE扩散区大小的基本限制，采取适当措施如喷镀一超薄金属层或布洛赫波隧穿效应(Bloch Wave Channeling)等来限制SE扩散区的尺寸，二次电子分辨本领可望达到—，并进而观察原子像。现代SEM电子束探针的半高宽FWHM已达，场发射电子枪也已具有足够高的亮度。因此在电子光学方面目前并不构成对SE分辨本领的基本限制。然而，对SEM的机械设计如试样台的漂移和震动等尚未给予足够的、如对扫描隧道显微镜那样的重视、二次电子探测器的信噪比和反差还不够理想，也影响了分辨本领。此外，SE分辨本领的定义和测定方法，SEM图像处理等也不如透射电子显微镜那么严格和完善。这些问题的解决必将进一步提高SEM的图像质量和分辨本领。参考文献〔1〕金鹤鸣，姜新力，姚骏恩.中国电子显微分析仪器市场.见：分析仪器市场调查与分析.北京：海洋出版社，1998.第四章.p113—152.(待出版).〔2〕姚骏恩.创造探索微观世界的有力工具(今年诺贝尔奖物理学奖获得者的贡献).中国科技报，1986-12-08(3).〔3〕姚骏恩.电子显微镜的最近进展.电子显微学报，1982，1(1)∶1—9.〔4〕郭可信.晶体电子显微学与诺贝尔奖.电子显微学报，1983，2(2)∶1—5.

光化学的定义有不同的表述。C. H. Wells认为，光化学研究的是“吸收了紫外光或可见光的分子所经历的化学行为和物理过程”。N. J. Turro则认为“光化学研究的是电子激发态分子的化学行为和物理过程”。由于电子激发态通常由分子吸收紫外光或可见光形成，所以上述两种定义的实质是一样的。光化学是研究光与物质相互作用所引起的永久性化学效应的化学分支学科。由于历史的和实验技术方面的原因，光化学所涉及的光的波长范围为 100～1000纳米，即由紫外至近红外波段。比紫外波长更短的电磁辐射，如X或γ射线所引起的光电离和有关化学属于辐射化学的范畴。至于远红外或波长更长的电磁波，一般认为其光子能量不足以引起光化学过程，因此不属于光化学的研究范畴。观察到有些化学反应可以由高功率的红外激光所引发，但将其归属于红外激光化学的范畴。影像是人对视觉感知的物质再现。影像可以由光学设备获取，如照相机、镜子、望远镜及显微镜等；也可以人为创作，如手工绘画图像等。影像也是一种视觉符号。通过专业设计的影像，可以发展成人与人沟通的视觉语言，也可以了解世界美术中大量的平面绘画、立体雕塑与建筑。

电子显微镜样品制备市场现状及未来发展趋势

电子显微镜是用于可视化生物样品的非常强大的工具。它们使科学家能够非常详细地观察细胞，组织和小型生物。但是，这些生物样品尚无法在电子显微镜下查看。取而代之的是，样品必须经过复杂的制备步骤，以帮助它们承受显微镜内部的环境。制备过程会杀死组织，也可能导致样品外观发生变化。

2019年中国电子显微镜样品制备市场规模达到了XX亿元，预计2026年将达到XX亿元，年复合增长率(CAGR)为XX%。

本文研究中国市场电子显微镜样品制备现状及未来发展趋势，侧重分析在中国市场扮演重要角色的企业，重点呈现这些企业在中国市场的电子显微镜样品制备收入、市场份额、市场定位、发展计划、产品及服务等。历史数据为2016至2020年，预测数据为2021至2027年。

主要企业包括：

Electron Microscopy Sciences

Ametek, Inc

Technoorg Linda Ltd. Co

Boeckeler Instruments, Inc

Allied High Tech Products, Inc

Verder Group

CryoCapCell

Anatech USA

Engineering Office M. Wohlwend GmbH

JEOL Ltd

Danaher Company

Vac Techniche Ltd

HHV Ltd

Illinois Tool Works, Inc

按照不同产品类型，包括如下几个类别：

离子铣削

涂层机

冻结断裂系统

高压冷冻机

低温转印系统

等离子清洁剂

临界点干燥系统

其他

按照不同应用，主要包括如下几个方面：

学术

生命科学

材料科学

半导体研究

其他

重点关注如下几个地区:

华东地区

华南地区

华北地区

华中地区

西南地区

西北及东北地区

本文正文共8章，各章节主要内容如下：

第1章：报告统计范围、产品细分及中国总体规模及增长率，2016-2027年；

第2章：中国市场电子显微镜样品制备主要企业竞争分析，主要包括电子显微镜样品制备收入、市场份额、价格及行业集中度分析；

第3章：中国电子显微镜样品制备主要地区市场分析，包括规模及份额等；

第4章：中国市场电子显微镜样品制备主要企业基本情况介绍，包括公司简介、电子显微镜样品制备产品、电子显微镜样品制备收入及最新动态等；

第5章：中国不同产品类型电子显微镜样品制备规模及份额等；

第6章：中国不同应用电子显微镜样品制备规模及份额等；

第7章：行业发展环境分析；

第8章：行业供应链分析；

第9章：报告结论。

参考文献有马冬冰的《基于胜任力模型的招聘甄选管理体系的构建》，它是重庆科技学院学报2007 年的第 6 期。

半导体学报核心期刊

csci期刊的意思如下：

CSCI，即中国科学引文索引（China Science Citation Index），是由中国科学院文献情报中心研发的，后更名为中国科学引文数据库，也就是我们常说的cscd，这也正是cscd被誉为是中国sci的主要原因。

cscd也是国内核心期刊体系中的一个核心期刊主要类别，在国内的学术地位仅次于南大核心期刊和北大核心期刊。

CSCI是基于国内科研需求研发出的检索工具，具有专业性强、数据准确规范、检索方式多样、完整、方便等特点，更加适应国内学术发展需要，CSCI检索收录了涵盖数学、物理、化学、天文学、地学、生物学等诸多专业期刊千余种。

CSCI填补了中文检索工具中有关引文方面的空白。该索引通过著者、机构名或主题词查找文献；通过引文索引了解某一课题研究过程，揭示文献间相互联系情况；利用引文著者检索该著者论着被引用情况，引用频率，为科管工作提供参考性的定量材料。也可为机构发文量，地区和国家发文量提供统计数据。

CSCI期刊有的种类：

CSCI期刊有核心库和扩展库，核心库的来源期刊经过严格的评选，是各学科领域中具有权威性和代表性的核心期刊。扩展库的来源期刊也经过大范围得遴选，是我国各学科领域较优秀的期刊。

核心库期刊：669种；扩展库期刊：378种。

核心库期刊有半导体学报、爆炸与冲击、长江流域资源与环境、大帝测量与地球动力学、辐射研究与辐射工艺学报、高分子材料科学与工程、海洋地质与第四纪地质、环境污染治理技术与设备等。

扩展库期刊有黑龙江大学自然科学学报、计算机自动测量和控制、矿物岩石地球化学通报、临床与实验病理学杂志、上海医学检验杂志、石油化工高等学校学报等。

几乎没有好投中的

你看看应用光学吧。

半导体学报期刊级别

希望能帮到你，满意请采纳喔~一类期刊是国家级的核心期刊，二类的是除国家级核心期刊之外的其它核心期刊，三类的就是普通期刊，每个地方的分类不太一样。一般期刊等级的划分▪ 按期刊的主管部门分级▪ 期刊是否公开出版分级▪ 以期刊质量分级期刊分级的级次和称谓期刊分级的主要目的是为了从所有的期刊中提取突显少数优秀的重点期刊，故一般分级层次不多，大多为2--3级，少数在4级以上。如：2级：核心期刊--非核心期刊来源期刊--非来源期刊3级：国家期刊奖--国家期刊奖提名奖--非获奖期刊（以获奖与否划界，也可看作是2级）一级期刊--核心期刊--其它期刊一级期刊--二级期刊--三级期刊4级：全国高校社科学报双十佳--全国高校社科学报百强--全国高校优秀社科学报--其它社科学报一等奖--二等奖--三等奖--未获奖期刊级次的称谓有很多种,主要有：（1）按主管部门划分为全国性期刊和地方性期刊。（2）按是否正式出版分正式期刊和非正式期刊。（3）核心期刊，如《中文核心期刊要目总览》。（4）称一级期刊、二级期刊、三级期刊（如四川省第二次期刊质量考评，评定1998年全省期刊质量为一级期刊179种，二级期刊93种，三级期刊6种）。（5）优秀期刊（如1999年社科院举行的期刊评奖活动中，《文学遗产》等八种刊物被评为“优秀期刊”）。（6）一等奖、二等奖、三等奖，如1992年国家科委、中宣部、新闻出版署联合举办的首届全国优秀期刊评比中，设优秀期刊一、二、三等奖。（7）十佳期刊，如江苏省社科类十佳期刊，首届全国高校社科学报双十佳。（8）来源期刊，如中国科学引文数据库来源期刊。（9）国内权威刊物，如《湖南大学校定国内权威刊物目录》。（10）重要学术期刊，如《湖北大学一级和重要学术期刊目录》。由于给期刊定级的机构、院校很多，定级的出发点、目的和标准各不相同，期刊分级的称谓也就显得五花八门。需要指出的是，由于期刊的主办者越来越重视期刊分级的结果,对分级中获得的好成绩往往在刊物醒目位置予以标注，而称谓的复杂多样使得读者难以辨明。如“优秀期刊”，在某次定级中可能是最高级别，而在另一个定级中可能是第二级或第三级，最典型的如全国高校社科学报评奖，在“优秀学报”上还叠着两级，分别是“百强”（第二级）和“双十佳”（第一级）。而“核心期刊”的标注方式竟有19种之多，出处不一但又未标明，读者很难弄得明白

一类期刊，二类期刊，三类期刊，代表着刊物不同的水准。通常情况下一类期刊的质量是最高的。

我分了一下

一类期刊：

科学通报（中国科学院）、中国科学（中国科学院）

二类期刊：

1. 综合类：自然科学进展

2. 数学类：数学学报、数学进展、数学年刊、应用数学学报、高校应用数学学报

3. 物理学类：物理学报、高能物理与核物理、天文学报、半导体学报、金属学报

4. 化学类：化学学报、高等学校化学学报、化工学报

5. 生物类：植物生理与分子生物学学报、动物学报、遗传学报、生物化学与生物物理学报

6. 地理类：地理学报、地理研究、地理科学

7. 计算机技术类：计算机学报、软件学报、计算机研究与发展

8. 电子、电工、自动化类：自动化学报、电子学报、电工技术学报